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微型傳感器是目前成功且實用的微型機電器件

時間:2023-07-19 點擊次數(shù):

微型傳感器是目前成功且實用的微型機電器件,主要包括微型壓力傳感器和微型加速度傳感器,它們利用微膜的機械變形產(chǎn)生電信號輸出;此外,還有微型溫度傳感器、磁場傳感器、氣體傳感器等。這些微型傳感器的面積大多小于1mm2。

伴隨著微電子加工技術(shù),特別是納米加工技術(shù)的進(jìn)一步發(fā)展,傳感器技術(shù)也將從微傳感器發(fā)展到納米傳感器。這些微型傳感器體積小,可以實現(xiàn)許多新功能,便于大規(guī)模高精度生產(chǎn),單件成本低,容易形成大規(guī)模多功能陣列。這些特點使得它們非常適合汽車應(yīng)用。

汽車傳感器是各種用于汽車顯示和電子控制系統(tǒng)的傳感器的總稱。它涉及許多物理量傳感器和化學(xué)量傳感器。這些傳感器要么是為了讓駕駛員了解汽車的各個部分的狀態(tài),要么是為了控制汽車各個部分的狀態(tài)。

根據(jù)汽車的功能,它可以分為控制發(fā)動機、控制底盤和為駕駛員提供各種信息傳感器。這些傳感器的材料包括精細(xì)陶瓷、半導(dǎo)體材料、光纖和聚合物薄膜;根據(jù)輸出特點,有模擬傳感器和數(shù)字傳感器;根據(jù)組成原理,有結(jié)構(gòu)型、韌性型和復(fù)合型。為了方便起見,現(xiàn)在根據(jù)汽車傳感器的控制對象進(jìn)行分類。

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